Dünnschichtprozesse

Dünnschicht-Abscheidungsprozesse sind auf eine stabile, reproduzierbare und schnelle Gasflusssteuerung für Sputter- und Prozessgase angewiesen. Das richtige Massenflussprodukt bietet entscheidende Vorteile für eine hohe Abscheidungsleistung.

Die Abscheidung dünner Schichten (Beschichtungen von wenigen Nanometern bis etwa 100 Mikrometern) ist heute ein wichtiger Prozessschritt in einer Reihe von Branchen. Dünnschichtverfahren wie die chemische Abscheidung aus der Gasphase (CVD) oder die physikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD) werden in verschiedenen Branchen eingesetzt, von der Halbleiterherstellung über die Produktion von Solarzellen bis hin zur Beschichtung von Architekturglas.

Gasflussregelung als wichtiges Erfolgskriterium

Die Regelung des Gasflusses für Sputtergase (typischerweise Argon, Ar), Prozessgase wie Sauerstoff (O2), Stickstoff (N2) usw. sowie für Vorprodukte ist für das Erzielen gleichmässiger Schichteigenschaften bei der Dünnschichtabscheidung absolut unerlässlich. Eine hochgradig zuverlässige Regelung des Gasflusses gewährleistet reproduzierbare Eigenschaften der Dünnschicht und minimiert so die Qualitäts- und Prüfkosten.

In der Beschichtungskammer (in der Regel unter nahezu vakuumähnlichen Bedingungen) müssen neben der Gasmatrix eine Reihe von Parametern gleichzeitig und genau kontrolliert werden, zum Beispiel Temperatur und Druck. Weil diese Parameter voneinander abhängig sind, ist eine schnelle Reaktionszeit des Massenflussreglers die Grundlage für eine hohe Beschichtungseffizienz. Nicht zuletzt ist die langzeitstabile Leistung von entscheidender Bedeutung, um Abweichungen der Filmeigenschaften im Laufe der Zeit zu vermeiden.

Vorteile der Axetris Massenfluss-Technologie

Die Massenflusslösungen von Axetris basieren auf einer platinbasierten MEMS-Chiptechnologie. In Kombination mit intelligentem Elektronik- und Softwaredesign bietet dies entscheidende Vorteile für Dünnschichtanwendungen. Hersteller von Beschichtungsanlagen für dünne Schichten haben mit Axetris den idealen Partner, der sie während des gesamten Entwicklungsprozesses unterstützt.