Befindet sich ein Stoff in gasförmigem Zustand, sind die einzelnen Teilchen in Bewegung. Durch Komprimierung des Volumens kommen diese Teilchen näher zueinander, es entstehen häufigere Kollisionen und der Druck erhöht sich.
Die selbst entwickelte, platinbasierte MEMS-Chip-Technologie der Axetris-Massenflussgeräte beruht auf dem Prinzip der thermischen Durchflusstechnik. Die Chiptechnologie ermöglicht die Messung von nicht agressiven oder korrosiven Gasen wie Luft, Stickstoff (N2), Argon (Ar) oder Helium (He). Durch die Multigas-Option der Massenflussgeräte kann flexibel zwischen den Gasen gewechselt werden, ohne das Gerät auszutauschen. Im Vergleich zu anderen Technologien überzeugt diese Technik vor allem durch hohe Messgenauigkeit und schnelle Reaktion auf Durchflussänderungen. Dank des sehr hohen Dynamikbereichs von über 1000:1 können Durchflüsse flexibel je nach Bedarf realisiert werden.