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MFC 2022

Kleines, ultra-kompaktes Massenflussreglermodul mit RS-232 TTL- und analoger 0...5 V-Schnittstelle, beruht auf der von Axetris selbst entwickelten Platin-MEMS-Technologie (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).

Es besitzt folgende Vorteile:
  • Extrem kompakte Bauweise
  • Schnelle Einschwingzeit < 150 ms
  • Hervorragende Repetierbarkeit und Genauigkeit
  • Steife, stabile Bauart 
  • Grosser Dynamikbereich > 1000:1
  • Langfristige Stabilität
Wird empfohlen für die Systemintegration in industriellen, analytischen sowie medizinischen Einsatzbereichen

Technische Daten

Details MFC 2022, analoge 0…5 V- und RS-232 TTL-Schnittstelle + Merken + Vergleichen Technische Daten drucken

Artikel-Nr. **

Attribute Einheit Wert
Durchflussbereich (N2 Äquivalent) sccm 0 – 20,000
Zielgas N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
Flussgenauigkeit Please consult product datasheet
Einschwingzeit ms < 150
Spannungsversorgung V 24
Analogeingang V 0...5
Analogausgang V 0...5
Digitaler Eingang/Ausgang RS-232 TTL

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