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MFM 2020

Kleines, kompaktes Massenflussmetermodul mit RS-232 TTL- und analoger 0...5 V-Schnittstelle, beruht auf der von Axetris selbst entwickelten Platin-MEMS-Technologie (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).

Es besitzt folgende Vorteile:
  • Extrem kompakte Bauweise
  • Schnelle Ansprechzeit
  • Hervorragende Repetierbarkeit und Genauigkeit
  • Steife, stabile Bauart 
  • Hoher Dynamikbereich
  • Sehr langfristige Stabilität
Wird empfohlen für die Systemintegration in industriellen, analytischen sowie medizinischen Einsatzbereichen

Technische Daten

Details MFM 2020, analoge 0…5 V- und RS-232 TTL-Schnittstelle + Merken + Vergleichen Technische Daten drucken

Artikel-Nr. **

Attribute Einheit Wert
Durchflussbereich (N2 Äquivalent) sccm 0 – 20,000
Zielgas N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
Flussgenauigkeit Please consult product datasheet
Reaktionszeit ms < 4
Spannungsversorgung V 12
Analogausgang V 0...5
Digitaler Eingang/Ausgang RS-232 TTL

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