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MFM 2120

MEMS-basierter kompakter Massenflussmeter mit RS-232 EIA- und analoger 0...5 V-Schnittstelle, beruht auf der von Axetris selbst entwickelten Platin-MEMS-Technologie (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).

Er besitzt folgende Vorteile:
  • Kompakte Abmessungen
  • Schnelle Ansprechzeit
  • Hervorragende Repetierbarkeit und Genauigkeit
  • Steife, stabile Bauart 
  • Hoher Dynamikbereich
  • Langfristige Stabilität

Wird empfohlen für eigenständige Anwendungen und die Systemintegration für industrielle, analytische sowie medizinische Einsatzbereiche

Technische Daten

Details MFM 2120, analog 0…5 V und RS-232 EIA-Schnittstelle + Merken + Vergleichen Technische Daten drucken

Artikel-Nr. **

Attribute Einheit Wert
Durchflussbereich (N2 Äquivalent) sccm 0 – 20,000
Zielgas N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
Flussgenauigkeit Please consult product datasheet
Reaktionszeit ms < 4
Spannungsversorgung V 24
Analogausgang V 0...5
Digitaler Eingang/Ausgang RS232 EIA

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