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MFC 2100 Series with integrated shut-off valve

The trusted Axetris MFC 2100 Series is also available with an integrated downstream shut-off valve. A perfect combination of the Axetris proprietary Platinum MEMS technology with guaranteed leak tightness for high vacuum applications. It offers the following advantages:

 

- Ultra compact size

- Fast settling time < 150 ms

- Excellent repeatability and accuracy

- Rigid stable design 

- High turn down ratio >1000:1

- High long term stability

- Integrated shut-off valve to guarantee leak tightness

 

It is recommended for system integration in Industrial, Analytical and Medical applications.

Technische Daten

Details MFC 2100 Series + Merken + Vergleichen Technische Daten drucken

Artikel-Nr. **

Attribute Einheit Wert
Durchflussbereich (N2 Äquivalent) sccm 0 – 20,000
Zielgas N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
Flussgenauigkeit Please consult product datasheet
Einschwingzeit ms < 150
Spannungsversorgung V 24
Analogeingang V 0...5
Analogausgang V 0...5
Digitaler Eingang/Ausgang RS-232 EIA / RS-485 / PROFINET / EtherCAT (Depending on MFC model)

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