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半導体関係

様々なガスの制御および検出は、半導体製造や化学蒸着 (CVD) プロセスに不可欠です。

半導体製造において、様々なエッチング剤はNDIR技術を用いて測定可能であり、測定は工程管理に対して利用することができます。CVD工程において、例えば有機金属化学気相成長法 (MOCVD)、NDIR検出が前駆体送達システムに対して使用することができます。

NDIRは中間IR領域でガスを吸収するための好ましい検出方法であり、高い検出感度と安定した測定性能を経年的に提供します。

Axetris赤外線源の利点:

  • 全ガスに対しての真の黒体放射 (2~14 μm)
  • 高放射率
  • 小型
  • 高速電気変調 (チョッパーホイール必要無し)
  • 高い変調深さ
  • 低消費電力
  • 長寿命

Axetrisは 統合ウィンドウ (サファイア、BaF2、CaF2、GeART100) 有り / 無しの複数の反射器に搭載された赤外線光源のポートフォリオを備えることで、ソリューションを提供しています。

EMIRS200

Chip on Header

EMIRS200 on TO39

仅带芯片的光源

カスタム

カスタム要望につきましては、別途ご連絡願います。

客户定制

TO39 with Cap

EMIRS200 on TO39 with Metal Cap

带有保护帽 的TO39封装

TO39 with Reflector1

ご検討の目安として、 焦点距離 (Focal length): 5 - 15 mm, 窓(フィルタ)対応可

带有反射面1的TO39封装

TO39 with Reflector2

ご検討の目安として、 焦点距離 (Focal length): 0 - 7 mm

带有反射面2的TO39封装

TO39 with Reflector3

ご検討の目安として、 焦点距離 (Focal length): 10 - 30 mm, 窓(フィルタ)対応可

带有反射面3的TO46封装

TO39 with Reflector4

ご検討の目安として、 焦点距離 (Focal length): 0 - 30 mm, 窓(フィルタ)対応可

带有反射面4的TO46封装

EMIRS50

Chip on Header

EMIRS50 on TO46 Basic Version (Chip on Header only)

仅带芯片的光源

カスタム

カスタム要望につきましては、別途ご連絡願います。

客户定制

TO46 with Cap

EMIRS50 on TO46 with Cap

带有保护帽的TO46封装

TO46 with Reflector5

窓(フィルタ): Sapphire 又は BaF2

带有反射面5的TO46封装

TO46 with Reflector6

EMIRS50 on TO46 with Reflector6 and no window - back vented

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