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標準プラットフォーム

マスフローマニホールドの標準プラットフォームでは、1つの底板に取り付けた質量流量の制御器または計測器を4つまで使うことができます。マニホールドの形状はミキサーまたはスプリッターで、各チャネルはお客様のご要望に応じて較正することができます。本製品は、最大限の正確性と再現性で気流を混合または分離できる、コンパクトかつすぐに使用可能な、理想的なソリューションです。

テクニカルデータ

Details マスフローマニホールド標準プラットフォーム + Add to Watchlist + Add to Comparison Print Specifications

商品番号 **

属性 単位 価値
流量の範囲 (N2 相当) sccm up to 20,000 per channel
対象の気体 N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
気流チャネル Up to 4
チャネルの種類 Controller or Meter
形状 Mixer or Splitter
流量の正確性 Axetris standard
設定時間 ms < 150
電圧源 V 24
デジタル入力/出力 RS-232
電子インターフェース Common Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional)
機械的インターフェース Thread 1/8” ISO, Optional Fittings

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