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Details マスフローマニホールド標準プラットフォーム + Add to Watchlist + Add to Comparison Print Specifications

商品番号 **

属性 単位 価値
流量の範囲 (N2 相当) sccm up to 10,000 per channel
対象の気体 N2, Air, O2, CO2, Ar, He, H2
気流チャネル Up to 4
チャネルの種類 Controller or Meter
形状 Mixer or Splitter
流量の正確性 Axetris standard
設定時間 ms < 150
電圧源 V 24
デジタル入力/出力 RS-232
電子インターフェース Common Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional)
機械的インターフェース Thread 1/8” ISO, Optional Fittings

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