We use Cookies to give you a better experience while surfing on our website and we use such data for statistical purposes. By applying the adequate settings in your browser you have control over the acceptance of Cookies. Find out more here

薄膜コーティング
薄膜镀层控制

反応性PVD (物理蒸着) 等の薄膜堆積プロセスは、再現可能な膜特性を確実にするために反応性ガスの再現性のガスフローを必要とします。

MFC 2100シリーズの小型サイズは、プロセスチャンバー内外のいずれかのガスを混合することができます。これはまた、非常にコンパクトな分配マニホールドを構築してチャンバー内の均一的なガス分配を確実にするため、均一的な膜特性の実現が可能となります。

 

 

Mass Flow Controller

MFC 2022

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-232 TTL / analog 0 - 5 V

MFC 2122

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 0 - 5 V

MFC 2132

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 4 - 20 mA

MFC 2152

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-485

MFC 2222

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 0 - 5 V

MFC 2252

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-485

MFCプラス – 新製品

ダイナミックレンジかつコンパクトサイズのまま、マスフローコントローラを15,000sccmまでスケールアップしました。

全新的质量流量控制器 MFC Plus

Mass Flow Meter

MFM 2020

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-232 TTL / analog 0 - 5 V

Mass Flow Meter Module 2020

MFM 2120

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 0 - 5 V

MFM 2130

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 4 - 20 mA

MFM 2150

・タイプ: スタンドアローン ・インターフェース: RS-485

MFM 2220

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-232 EIA / analog 0 - 5 V

MFM 2250

・タイプ: モジュール ・インターフェース: RS-485

MFCプラス – 新製品

ダイナミックレンジかつコンパクトサイズのまま、マスフローコントローラを15,000sccmまでスケールアップしました。

全新的质量流量计MFM Plus

Mass Flow Manifolds

カスタムソリューション

個別の技術要件に関するご相談がありましたら、お気軽にご連絡ください。

標準プラットフォーム

標準プラットフォームでは、1つの底板に取り付けた質量流量の制御器または計測器を4つまで使うことができます。

Item added to watchlist