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薄膜镀层控制
薄膜镀层控制

薄膜沉积工艺,如反应性的PVD(物理气相沉积),需要一个可重复的反应气体的流量来确保膜的性能。凭借业界领先的可重复性<<±0.15% FS和非常小的长期漂移。Axetris MFC 2100系列产品能为你设备的稳定和你客户的便捷使用提供支持。

MFC 2100 系列产品尺寸小的特点可以让你在过程腔体的内部或外部进行气体的混合。它也可以让你构建非常紧凑的分配阀组,以确保腔室中的气体分布均匀,从而实现统一的涂层属性。

客户可以借助Axetris的产品,诸如质量流量控制器模块(MFC2200系列)或质量流量计模块(MFM2200系列)来建立自己的质量流量控制器去优化系统设计或保护自己的知识产权。

 

 

Mass Flow Controller

MFC 2022

质量流量控制器配有0..5V 和RS 232 TTL通讯输出的接口

MFC 2122

质量流量控制器MFC 2122 配有 0…5 V 和RS232 EIA 通讯接口

MFC 2132

基于MEMS技术的质量流量控制器配有外壳和RS232 EIA 以及 4…20mA 输出接口

MFC 2152

基于MEMS技术的质量流量控制器配有外壳和RS485 全双工通讯的接口。

MFC 2222

基于MEMS技术的质量流量控制模块配有RS-232 EIA 和0..5V 模拟量通讯输出的接口

MFC 2252

基于MEMS技术的质量流量控制器配有RS-485 全双工通讯的接口

MFC Plus – 新产品

质量流量控制器的量程可扩展到15,000 sccm。具有无与伦比的动态量程和超紧凑尺寸的特点。

全新的质量流量控制器 MFC Plus

Mass Flow Meter

MFM 2020

质量流量计模块MFM 2020 配有0…5 V 和 RS232 TTL通讯接口

Mass Flow Meter Module 2020

MFM 2120

质量流量计MFM 2120 配有 0…5 V 和 RS232 EIA 通讯输出的接口

MFM 2130

基于MEMS技术的质量流量计配有RS-232 EIA 和4..20mA 通讯输出的接口

MFM 2150

基于MEMS技术的 质量流量计 配有外壳和RS485 全双工通讯 的接口

MFM 2220

基于MEMS技术的质量流量计模块配有RS-232 EIA 和 0…5 V 模拟量输出

MFM 2250

基于MEMS技术的质量流量计模块配有RS-485 全双工通讯接口

MFM Plus – 新产品

质量流量计的量程可扩展到15,000 sccm。

全新的质量流量计MFM Plus

Mass Flow Manifolds

定制解决方案

我们的工程团队将帮助您设计出既优化复杂性又节约成本的解决方案,同时保持最高效能标准。

标准平台

单个基板上安装有多达 4 个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置。

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