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基于MEMS技术的质量流量控制器为OEM应用而设计。Axetris 的质量流量控制器是理想的选择对那些需要小尺寸,高稳定性,快速响应时间和宽量程比的应用。

Mass Flow Controller

MFC 2022

质量流量控制器配有0..5V 和RS 232 TTL通讯输出的接口

MFC 2100 Series with integrated shut-off valve

The trusted Axetris MFC 2100 Series is also available with an integrated downstream shut-off valve.


MFC 2122

质量流量控制器MFC 2122 配有 0…5 V 和RS232 EIA 通讯接口

MFC 2132

基于MEMS技术的质量流量控制器配有外壳和RS232 EIA 以及 4…20mA 输出接口

MFC 2152

基于MEMS技术的质量流量控制器配有外壳和RS485 全双工通讯的接口。

MFC 2162

MEMS based mass flow controller with PROFINET interface

Mass Flow Controller Profinet

MFC 2172

MEMS based mass flow controller with EtherCAT interface.

AXAG Mass Flow Devices MFC 2172 with EtherCAT interface

MFC 2222

基于MEMS技术的质量流量控制模块配有RS-232 EIA 和0..5V 模拟量通讯输出的接口

MFC 2252

基于MEMS技术的质量流量控制器配有RS-485 全双工通讯的接口

MFC Plus – 新产品

质量流量控制器的量程可扩展到15,000 sccm。具有无与伦比的动态量程和超紧凑尺寸的特点。

全新的质量流量控制器 MFC Plus

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