Eine Vielzahl von medizinischen Geräten wie Beatmungsgeräte, Atem-Analysegeräte und Anästhesiemonitore erfordern eine schnelle und präzise Messung des Gasflusses.
Neben den Anwendungen in Krankenhäusern gibt es eine steigende Nachfrage nach Gasdurchflussregelungen für Produkte der häuslichen Gesundheitsfürsorge, zum Beispiel CPAP-Geräte (Continuous Positive Airway Pressure). Axetris-Massenflussmesser und -regler sind für den Einsatz mit mehreren Gasen wie O₂, Luft, He und CO₂ erhältlich. Das MEMS-basierte Design der Axetris-Massenflussgeräte bietet entscheidende Vorteile wie schnelles Ansprechen und hohe Genauigkeit.