Die in den industriellen Regularien festgelegten Schadgase müssen immer auf trockener Basis an die Behörden gemeldet werden. Gemessen werden diese Gase jedoch in einem feuchten Prozessgas. Daher ist es wichtig, den genauen Gehalt der Feuchtigkeit ebenfalls zu ermitteln. Das Laser-Gasdetektions-OEM-Modul LGD F200P2-H H2O von Axetris misst eine absolute Feuchtigkeit bis zu 30% im Prozessgas zuverlässig und ohne regelmässige Kalibrationen. Zudem reduziert die robuste Bauweise des LGD-Moduls den Wartungsaufwand auf ein Minimum.
