微结构的零件

Axetris提供150和200毫米晶圆上的硅和熔融石英的定制微结构部件。机械特征是通过平版印刷和干式或湿式蚀刻获得的。可以应用其他特征，如图案化的金属化，例如作为靶标，但也可以是焊料框架。高精度和小的外形尺寸允许高度精确的组件，如子座或光学工作台。