SF6监测

提及温室气体，二氧化碳（CO₂）和甲烷（CH₄）往往首先浮现在人们脑海——毕竟它们是众所周知的焦点。然而，六氟化硫（SF₆）及其对气候的危害性，对许多人而言却鲜为人知。

六氟化硫是一种无色无味的气体，对人类无毒。由于它不会与其他气体发生反应，因此在医学等领域作为示踪气体广受欢迎。然而一旦进入大气层，该物质具有极强持久性，对温室效应贡献显著。尽管其在大气中的浓度远低于二氧化碳，但温室效应潜能值却高达二氧化碳的24,000倍。正因如此，《京都议定书》将其列为六种危害气候的气体之一，以期减少此类气体排放。

及时发现泄漏至关重要

由于其化学特性，六氟化硫作为绝缘体和介电介质在高压开关设备以及现代高速列车的电力传输中广受欢迎。为此用途，每年生产量超过10,000吨。

安全检查员穿戴防护装备，在工业设施记录泄漏的管道喷出蒸汽，凸显隐患监测的重要性。

当然，这些工厂和系统可能发生泄漏，导致六氟化硫（SF6）释放到大气中。作为预防措施，工厂应接受持续监测。海德堡大学环境物理研究所定期测量大气中各类温室气体的含量。研究人员注意到，大气中的六氟化硫含量尤其异常偏高。根据《京都议定书》，所有缔约国必须报告其排放量。有趣的是，申报数据与实测数据存在差异，泄漏可能是造成这种不一致的原因。借助光学光谱技术，尤其是非色散红外光谱（NDIR）技术，此类测量任务可轻松可靠地完成。Axetris公司的红外光源能在整个中红外光谱范围内持续保持高发射率，这是通过NDIR技术检测有害SF6微量泄漏所必需的特性。

满足最高要求的气体纯度测量
六氟化硫的另一重要用途在于半导体生产。当今由半导体和微技术制造的高精度元件，其生产过程需经历众多独立工序。

蚀刻是制造微结构的重要步骤。这些微结构通过蚀刻过程中去除材料而形成。各类蚀刻技术可分为干法蚀刻与湿法化学蚀刻。在干法蚀刻工艺中，SF6被用作蚀刻气体。由于即使微量颗粒或杂质气体也可能损坏敏感的半导体元件，所用气体的纯度至关重要。非色散红外光谱技术可用于对气体纯度进行连续监测。