当然，这些工厂和系统可能发生泄漏，导致六氟化硫（SF6）释放到大气中。作为预防措施，工厂应接受持续监测。海德堡大学环境物理研究所定期测量大气中各类温室气体的含量。研究人员注意到，大气中的六氟化硫含量尤其异常偏高。根据《京都议定书》，所有缔约国必须报告其排放量。有趣的是，申报数据与实测数据存在差异，泄漏可能是造成这种不一致的原因。借助光学光谱技术，尤其是非色散红外光谱（NDIR）技术，此类测量任务可轻松可靠地完成。Axetris公司的红外光源能在整个中红外光谱范围内持续保持高发射率，这是通过NDIR技术检测有害SF6微量泄漏所必需的特性。
蚀刻是制造微结构的重要步骤。这些微结构通过蚀刻过程中去除材料而形成。各类蚀刻技术可分为干法蚀刻与湿法化学蚀刻。在干法蚀刻工艺中，SF6被用作蚀刻气体。由于即使微量颗粒或杂质气体也可能损坏敏感的半导体元件，所用气体的纯度至关重要。非色散红外光谱技术可用于对气体纯度进行连续监测。