Mikro-Optiken und Wafer-Fertigungsdienstleistungen
Technologie und Know-how
Axetris bietet refraktive Mikrolinsen und Linsenarrays, diffraktive optische Elemente (DOEs) sowie Waferprozessierung und Post-Processing auf Kundenwafern an. Dazu hat Axetris eine eigene 150mm und 200mm Wafer-Foundry und bietet Front-End- und Back-End-Processing an. Axetris-Ingenieur- und Fertigungsteams vereinen viel Erfahrung in Simulation, Design, Fertigung und Messtechnik und unterstützen ihre Kundschaft in vielen Branchen mit fundiertem Know-how für Standardprodukte und kundenspezifische Lösungen.
Mikro-Optiken und Wafer-Fertigungsdienstleistungen
Unser Kompetenzbereich
Mikro-Optiken
Die Technologie dahinter
Das Herstellungsverfahren durch Lithografie, Reflow und Ätzen ermöglicht eine präzise Kontrolle der Linsenform, eine genaue Linsenpositionierung sowie eine sehr geringe Oberflächenrauigkeit. Die Fertigung auf Waferebene ermöglicht kostengünstige Lösungen bei hohen Volumen.
Axetris bietet Prozess-Dienstleistungen auf Wafern von 150mm und 200 mm Grösse an. Die Prozesse umfassen die Strukturierung der Silizium- oder Glassubstrate durch Nass- und/oder Trockenätzen, einschliesslich der Prozessierung von Membranen und Kavitäten, sowie die Abscheidung und Strukturierung von Metall- oder dielektrischen Schichten. Eine breite Palette von Mess-, Charakterisierungs- und Inspektionsverfahren kann angeboten werden, ebenso wie Dicing und Die-Sortierung.
