Darüber hinaus gibt es in der Halbleiterfertigung die strengsten Vorgaben bezüglich Reinheit bzw. Anzahl der Fremdpartikel in den Gasen. Je nach eingesetztem Gas sind Fremdpartikel bis zur Grössenordnung von ppm, ppb oder sogar nur bis ppt erlaubt. Die eingesetzte Messtechnik muss daher bereits die geringste Kontamination mit Fremdstoffen nachweisen. Leistungsfähige Messgeräte, wie zum Beispiel die photoakustische Spektroskopie, erlauben diese geringen Nachweisgrenzen, dies in Kombination mit einer kurzen Messzeit. Zudem können mit Hilfe der optischen Spektroskopie auch geringste Spuren von Leckagen oder Ausgasungen nachgewiesen werden und tragen so zum Schutz der Mitarbeitenden bei. Die Infrarotquellen von Axetris kommen in diesen Messtechniken zum Einsatz und leisten damit ihren Beitrag zur Versorgung unserer modernen Welt mit Halbleitern.