这种增长很可能主要由汽车行业驱动。现代车辆平均含有约100个基于半导体的组件。不仅需求量持续攀升,这些半导体的性能和尺寸也必须不断提升以满足日益增长的需求。这对芯片制造商构成重大挑战。无论是环境空气中的微粒还是工艺气体纯度,至今仍是半导体制造中的限制因素。
半导体制造过程中使用超过30种不同的工艺气体。没有任何其他行业使用如此多的气体,其中许多对人类具有毒性。但半导体制造对气体的纯度或允许的杂质颗粒量也有着最严格的规范要求。
然而,半导体制造对气体纯度或杂质颗粒的容许量有着最严格的规范。根据所用气体的不同,允许的杂质颗粒量可低至ppm、ppb甚至仅为ppt级别。要检测微量杂质污染,需借助高性能测量仪器,例如兼具低检测限与短测量周期的光声光谱技术。此外,光学光谱技术还能探测极微量的泄漏或脱气现象,从而保障员工安全。Axetris红外光源应用于这些测量技术中,为现代社会的半导体供应链提供关键支持。