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泄漏测试
Massenfluss in der Industrie

Dichtheitsprüfung

In einer Vielzahl von Branchen – Automobilzulieferer (Motorbläcke, Airbags), Hersteller medizinischer Geräte (Katheter), Lebensmittelverpackungsindustrie, etc. – muss anhand verschiedenster Prüfungen sichergestellt werden, dass die kritischen Komponenten dicht sind.

 

Bei der industriellen Dichtheitsprüfung sind die von Axetris angebotenen Massenflussmeter in Hinblick auf hohe Geschwindigkeit und hervorragende Repetierbarkeit unübertroffen. Axetris-Kunden, bei denen Produkte zur Dichtheitsprüfung eingesetzt werden, bezeichnen dies als „schnelle Repetierbarkeit“.

 

Dichtheitsprüfstation, die auf den Massenflusslösungen von Axetris basieren, stellen eine sichere und schnelle Erkennung von defekten Teilen sicher. Dank der patentierten platinbasierten MEMS-Technologie kann eine hohe Geschwindigkeit und somit schnelle Ansprechzeiten und ein geringer Druckabfall erreicht werden. Die robuste Bauart stellt sicher, dass Fluss- und Druckimpulse den Sensor nicht zerstören oder seine Repetierbarkeit negativ beeinflussen.

 

Die Massenflussmetermodule der Baureihen MFM 2000 und 2200 von Axetris sind die perfekte Wahl für den Einbau in Ihr eigenes Messgerät. Für Anwendungen ausserhalb des Schutzgehäuses empfehlen wir den Einsatz der Baureihe MFC 2100.

 

Die auf Massenfluss beruhende Dichtheitsprüfung bietet eindeutige Vorteile gegenüber der Prüfung mittels Druckabfall. Sie ist im Allgemeinen schneller, weil die erforderliche Messzeit nicht von der Grösse des zu prüfenden Volumens abhängt.

 

Die Massenflusslösungen von Axetris bieten bei der industriellen Dichtheitsprüfung folgende Vorteile:

- Schnelle Repetierbarkeit

- Stabile Verpackung

- Geringer Druckverlust

-  Extrem kompakte Bauweise

薄膜镀层控制
Massenfluss in der Industrie

Dünnfilm-Beschichtung

Dünnschichtverfahren wie beispielsweise die reaktive physikalische Gasphasenabscheidung (Physical Vapor Deposition - PVD) erfordern einen wiederholbaren Gasfluss des reaktiven Gases, um reproduzierbare Schichteigenschaften zu garantieren. Dank ihrer branchenführenden Repetierbarkeit von < ± 0,15 % FS sowie eines sehr geringen Langzeitdrifts unterstützt Sie die Baureihe MFC 2100 von Axetris dabei, Ihre Geräte stabil und bedienerfreundlich für Ihren Kunden zu gestalten.

 

Die geringe Grösse der Baureihe MFC 2100 ermöglicht es Ihnen, Gase sowohl innerhalb als auch ausserhalb der Prozesskammer zu mischen. Darüber hinaus können Sie sehr kompakte Modulverteiler aufbauen, um eine gleichmässige Gasverteilung in der Kammer und somit gleichmässige Schichteigenschaften zu erreichen.

 

Kunden, die zur Optimierung ihres Systemaufbaus oder auch zum Schutz ihres geistigen Eigentums ihre eigenen Massendurchflussregler zusammenbauen möchten, können sich auf die Produkte von Axetris verlassen, darunter z. B. die Massenflussregelmodule (Baureihe MFC 2200) oder die Massenflussmetermodule (Baureihe MFM 2200).

Read our application note on thin film deposition to learn more about Axetris solutions. 

 

 

CO2激光切割
Massenfluss in der Industrie

CO2-Laser

Kohlendioxid(CO2)-Laser sind leistungsstarke Laser, die häufig beim Schneiden von Eisen- und Nichteisenmetallen zum Einsatz kommen. Eine leistungsstarke Gasflussregelung ist Hauptvoraussetzung für eine hohe Schnittleistung von CO2-Lasern.

 

In den verschiedenen Anwendungsbereichen von CO2-Lasern spielen Gasflussregler eine wichtige Rolle, da sie die korrekte Mischung von Schlüsselgasen sicherstellen:

 

Strahlerzeugung: Das Gasgemisch, das als Lasermedium verwendet wird, besteht in der Regel aus CO2, He und N2. Die meisten Laserhersteller geben für das Gasgemisch zur Strahlerzeugung einen Mindestreinheitsgrad an, der typischerweise >99.99 % beträgt.Aus diesem Grund ist eine hochpräzise Gasmischsteuerung erforderlich, sei es für die Produktion von vorgemischten Gaszylindern oder zum Mischen in situ in der Lasereinheit.

 

Spülung: Bei der Spülung der Übertragungsleitung des Lasers kommt ein hochreines Gas zum Einsatz, in der Regel trockener Stickstoff, um Probleme aufgrund von Staubpartikeln oder Feuchtigkeit zu verhindern.

 

Prozessgas: In der Regel gelangt O2 oder N2 als Prozessgas zum Einsatz, um Materialien an der Schnittkante zu entfernen.

 

Axetris bietet Massenflusslösungen wie Gasverteiler (Mischer oder Splitter) zur Regelung des Gasflusses in Gaslasern an. Die Hauptvorteile der Massenflusstechnologie von Axetris sind:

- Hohe Genauigkeit und Repetierbarkeit

- Schnelle Ansprechzeit

- Kompakte Lösung, auch als Gasverteiler erhältlich

- Grosser Dynamikbereich von mindestens 1000:1

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