

如今,光子系统变得越来越复杂。通常,所需的光学装置可能需要客厅茶几那么大的空间。毫无疑问,这这样的庞然大物系统能够正常运行并完成预期任务。然而,你肯定意识到,这样一个由大量光学元件组成的系统很难实现工业化并扩大规模进行大规模生产。那么,解决方案可能是什么呢?

小于毫米尺寸的硅微透镜芯片通过将光从激光二极管耦合到光电路,进而耦合到光纤中,为这些光组件模块赋能,如图二所示。

除了光学特性,晶圆级微机电系统(MEMS)加工的微光学元件还能够添加多种机械结构和金属化特征,以促进光组件实现更高程度的集成、更巧妙的嵌入以及进一步小型化,具体示例见图 3。