Axetris stellt kundenspezifische diffraktive optische Elemente (DOEs) mit bis zu 16 Ebenen in Silizium und Quarzglas auf Wafern (150 mm und 200 mm) her. Beide Materialien können sowohl in Transmission als auch in Reflexion eingesetzt werden, wobei Letzteres in der Regel die Anwendung von Oberflächenmetallisierungen erfordert. Das DOE-Portfolio von Axetris umfasst sowohl einzelne Chips mit Grössen im Millimeterbereich als auch ungesägte, nachbearbeitete Kundenwafer.