Axetris stellt kundenspezifische diffraktive optische Elemente (DOEs) mit bis zu 16 Ebenen in Silizium und Quarzglas auf Wafern (150mm und 200mm) her. Beide Materialien können sowohl in Transmission als auch in Reflexion eingesetzt werden, wobei Letzteres in der Regel die Anwendung von Oberflächenmetallisierungen erfordert.
Das DOE-Portfolio von Axetris umfasst sowohl einzelne Chips mit Grössen im Millimeterbereich als auch ungesägte, nachbearbeitete Kundenwafer.
Technical Data
Metric
Imperial
Material
Quarzglas; Silizium; Weitere auf Anfrage
Oberflächenrauhigkeit
Typ. < 2 nm RMS, max. 5 nm RMS
Oberflächendefekte/-verschmutzungen
Kundenspezifisch basierend auf ISO 10110
Antireflexionsbeschichtung
Gegen Luft oder Kleber; Schmal- oder Breitband; Weitere auf Anfrage
Verpackungsform
Bluetape; Gelpak; Known good die; UV-Tape
Anzahl Stufen
2 - 16
Zusatzbeschreibung
Ausrichte- und mech. Strukturen; Kleberstopp; Metallisierung; Vorder- u/o Rückseite
