衍射光学元件（DOE）

Axetris生产定制的衍射光学元件（DOE），在150和200毫米晶圆上用硅和熔融石英制造多达16级。这两种材料都可用于透射和反射，后者通常需要应用表面金属化。 Axetris DOE的产品组合涵盖了通常尺寸在毫米级的单芯片以及未切割的后处理的客户晶圆。