Axetris bietet kundenspezifische mikrostrukturierte Teile aus Silizium und Quarzglas auf 150-mm-Wafern und 200-mm-Wafern an. Mechanische Strukturen werden durch Lithographie und Trocken- oder Nassätzung erzeugt. Zusätzliche Merkmale wie strukturierte Metallisierungen können aufgebracht werden, zum Beispiel als Ausrichtemarken und als Lötrahmen. Die hohe Genauigkeit und der kleine Formfaktor ermöglichen hochpräzise Komponenten wie Submounts und optische Bänke.
Technical Data
Metric
Imperial
Max. Wafergrösse
200 mm
Lithographie
Bis 1µm; ein-/doppelseitige; Dicke Lacke; auch auf bestehende Topographien
Metallisierung
Cr, Al, TiW, Ta, Pt, Au, AuSn, weitere auf Anfrage
Strukturierte Metallisierungen
Als Markierungen, Maskierungen, Elektroden, Lötpads usw.
Trockenätzen
Silizium, Quarz-Glas, Silizium-Nitrid und -Oxid, Photolack, andere auf Anfrage
