Bearbeitung auf empfindlichen Strukturen (z.B. Membranen)
spezielle oder kundenspezifische Prozesse
Vom Prototyping zur Großserienfertigung
Axetris bietet Prozess-Dienstleistungen an kundenseitig gelieferten und vorprozessierten Wafern von 150mm und 200 mm Grösse an. Die Prozesse umfassen die Strukturierung der Silizium- oder Glassubstrate durch Nass- und/oder Trockenätzen, einschliesslich der Prozessierung von Membranen und Kavitäten, sowie die Abscheidung und Strukturierung von Metall- oder dielektrischen Schichten. Eine breite Palette von Mess-, Charakterisierungs- und Inspektionsverfahren kann angeboten werden, ebenso wie Dicing und Die-Sortierung.
